交流FFU(交流風機過濾單元)是以交流電機為驅動管道的風機過濾機組,屬於潔淨室末端淨化設備的一種。
交流FFU 的詳細介紹
交流FFU的覈心構成包括外殼體、粗效篩檢程式、風機葉輪和高效篩檢程式等部件。 外殼體材質常見冷板烤漆、不銹鋼或覆鋁鋅板,形狀分為坡形(用於導流)或長方體(優化進氣面積); 粗效篩檢程式通常由可清洗的聚氨酯纖維製成,用於攔截大顆粒雜物; 風機葉輪有前傾(增强塵埃去除)和後傾(降低能耗)兩種形式; 高效篩檢程式負責捕集0.1~0.5µm的顆粒灰塵。 工作時,風機從頂部吸入空氣,依次經粗效和高效篩檢程式後,以0.45m/s±20%的風速均勻送出潔淨空氣。
交流FFU的特點:
第一:靈活性。因爲FFU是自帶動力的,它不受區域的限制。在壹個偌大的潔淨廠房裏,可根據需要,分區控制。而且,隨著半導體生産工藝的變化,廠房布局必然要作相應調整,FFU的靈活性使得這樣的調整變得輕松,而且不會帶來二次投資。
第二:可再利用性。從理論上講,壹時不用的FFU(層流罩)設備,可以拆下來,密封好,妥善保管,留待下次使用。
第三:負壓通風。這是FFU的獨特特點。由于它本身能夠提供靜壓,使得送風靜壓箱相對于潔淨廠房負壓。這樣,靜壓箱內的顆粒就不會受到壓力的作用泄漏到潔淨區裏,使得密封變得很簡單而且安全。
第四:縮短建設周期。使用FFU省掉了風管的制作和安裝,因爲風管在潔淨工程中,占掉很大的建設周期,任何壹個投資者都希望投資能盡快帶來收益,選用FFU(層流罩)成爲了壹種可能。
第五:減少運行成本。雖然在選用FFU(層流罩)時,初期投資要比使用風管通風高,但它在後期運行中,突出的表現出節能、免維護等特點。用在循環減少40%。

| 型號 | BH2*2L(2s) | BH4*2L(2s) | BH4*4L(s) | BH4*4L(2s) |
|---|---|---|---|---|
| 箱體尺寸 (mm) | 575*575*225 | 1175*575*225 | 1175*1175*275 | 1175*1175*275 |
| 可選材質 | 不鏽鋼/烤漆/鍍鋁鋅板 | 不鏽鋼/烤漆/鍍鋁鋅板 | 不鏽鋼/烤漆/鍍鋁鋅板 | 不鏽鋼/烤漆/鍍鋁鋅板 |
| 過濾器尺寸 (mm) | 570*570*69 | 1170*570*69 | 1170*1170*69 | 1170*1170*69 |
| 可選效率 | H13/H14/U15 | H13/H14/U15 | H13/H14/U15 | H13/H14/U15 |
| 電機葉輪型號 | 300#純銅芯電機塑膠葉輪 400#純銅芯電機鋁合金葉輪 | 300#純銅芯電機塑膠葉輪 400#純銅芯電機鋁合金葉輪 | 470#純銅芯電機鋁合金葉輪 | 300#純銅芯電機塑膠葉輪 400#純銅芯電機鋁合金葉輪 |
| 風量(m³/h) | 500 | 1000 | 2000 | 2000 |
| 噪音 (dB) | 58-62 | 58-62 | 60-64 | 58-62 |
| 運行功率 (w) | 150-190 | 150-190 | 180-400 | 300-400 |
| 電源 | 端子頭/國標品字尾 | 端子頭/國標品字尾 | 端子頭/國標品字尾 | 端子頭/國標品字尾 |
註:可按客戶要求做非標產品
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