FFU(層流罩)(Fan FilterUnit)是風機和過濾器的組合，也可深圳FFU廠家稱爲“自帶風機的過濾設備”。FFU通常安裝在潔淨室的送風末端，壹般放置在吊裝的“幹式”墊片密封龍骨框架上。FFU上面部分爲風機模塊，下面部分爲過濾器。根據潔淨度的要求，過濾器可爲不同等級的高效(HEPA)或超高效(ULPA)過濾器，爲潔淨室提供潔淨空氣。

　　FFU(層流罩) 的詳細介紹

　　FFU(層流罩)特點：

　　第壹：靈活性。因爲FFU是自帶動力的，它不受區域的限制。在壹個偌大的潔淨廠房裏，可根據需要，分區控制。而且，隨著半導體生産工藝的變化，廠房布局必然要作相應調整，FFU的靈活性使得這樣的調整變得輕松，而且不會帶來二次投資。

　　第二：可再利用性。從理論上講，壹時不用的FFU(層流罩)設備，可以拆下來，密封好，妥善保管，留待下次使用。

　　第三：負壓通風。這是FFU的獨特特點。由于它本身能夠提供靜壓，使得送風靜壓箱相對于潔淨廠房負壓。這樣，靜壓箱內的顆粒就不會受到壓力的作用泄漏到潔淨區裏，使得密封變得很簡單而且安全。

　　第四：縮短建設周期。使用FFU省掉了風管的制作和安裝，因爲風管在潔淨工程中，占掉很大的建設周期，任何壹個投資者都希望投資能盡快帶來收益，選用FFU(層流罩)成爲了壹種可能。

　　第五：減少運行成本。雖然在選用FFU(層流罩)時，初期投資要比使用風管通風高，但它在後期運行中，突出的表現出節能、免維護等特點。用在循環減少40